Three-level Silicon Micromachining For 1.3 THz APEX Receiver Waveguide Components
Paper i proceeding, 2005
Författare
David Karlén
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Denis Meledin
Chalmers, Institutionen för radio- och rymdvetenskap, Avancerad mottagarutveckling
Alexey Pavolotskiy
Chalmers, Institutionen för radio- och rymdvetenskap, Avancerad mottagarutveckling
Victor Belitsky
Chalmers, Institutionen för radio- och rymdvetenskap
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
MicroMechanics Europe Workshop (MME05), (Göteborg, Sweden)
9163175533 (ISBN)
Styrkeområden
Informations- och kommunikationsteknik
Nanovetenskap och nanoteknik
Produktion
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik
Fusion, plasma och rymdfysik
Infrastruktur
Nanotekniklaboratoriet
ISBN
9163175533