Three-level Silicon Micromachining For 1.3 THz APEX Receiver Waveguide Components
Paper i proceeding, 2005

Författare

David Karlén

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Denis Meledin

Chalmers, Institutionen för radio- och rymdvetenskap, Avancerad mottagarutveckling

Alexey Pavolotskiy

Chalmers, Institutionen för radio- och rymdvetenskap, Avancerad mottagarutveckling

Victor Belitsky

Chalmers, Institutionen för radio- och rymdvetenskap

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

MicroMechanics Europe Workshop (MME05), (Göteborg, Sweden)

Styrkeområden

Informations- och kommunikationsteknik

Nanovetenskap och nanoteknik

Produktion

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

Fusion, plasma och rymdfysik

Infrastruktur

Nanotekniklaboratoriet

ISBN

9163175533