Integrated Tunable VCSELs With Simple MEMS Technology
Paper i proceeding, 2010

A simple MEMS technology for wafer-scale fabrication of tunable VCSELs is presented. Reflown photo-resist droplets serve as preform for making curved movable micro-mirrors. First devices show a tuning range of 15 nm with mW-output power.

Författare

Benjamin Kögel

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Forskning Andra publikationer

Amin Abbaszadehbanaeiyan

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Forskning Andra publikationer

Petter Westbergh

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Forskning Andra publikationer

Åsa Haglund

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Forskning Andra publikationer

Johan Gustavsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Forskning Andra publikationer

Jörgen Bengtsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Forskning Andra publikationer

Erik Haglund

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Forskning Andra publikationer

Henrik Frederiksen

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Nanotekniklaboratoriet

Forskning Andra publikationer

P. Debernardi

Consiglo Nazionale Delle Richerche

Anders Larsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Forskning Andra publikationer

Semiconductor Laser Conference (ISLC), 2010 22nd IEEE International

0899-9406 (ISSN)

Ämneskategorier

Telekommunikation

DOI

10.1109/ISLC.2010.5642636

Publikationsdata kopplat till DOI

ISBN

978-1-4244-5683-3

Mer information

Senast uppdaterat

2018-09-06

Feedback och support

Om du har frågor, behöver hjälp, hittar en bugg eller vill ge feedback kan du göra det här nedan. Du når oss också direkt per e-post research.lib@chalmers.se eller via telefon 031-772 3744.

Om tjänsten

Research.chalmers.se innehåller information om forskning på Chalmers, publikationer och projekt inklusive information om finansiärer och samarbetspartners.

Läs mer om tjänsten, täckningsgrad och vilka som kan se informationen

Personuppgifter och cookies

Länkar

Chalmers bibliotek
Chalmers forskning
Forskningsprojekt på chalmers.se

Chalmers tekniska högskola

412 96 GÖTEBORG
TELEFON: 031-772 10 00
WWW.CHALMERS.SE