Integrated Tunable VCSELs With Simple MEMS Technology
Paper i proceeding, 2010

A simple MEMS technology for wafer-scale fabrication of tunable VCSELs is presented. Reflown photo-resist droplets serve as preform for making curved movable micro-mirrors. First devices show a tuning range of 15 nm with mW-output power.

Författare

Benjamin Kögel

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Andra publikationer Forskning

Amin Abbaszadehbanaeiyan

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Andra publikationer Forskning

Petter Westbergh

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Andra publikationer Forskning

Åsa Haglund

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Andra publikationer Forskning

Johan Gustavsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Andra publikationer Forskning

Jörgen Bengtsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Andra publikationer Forskning

Erik Haglund

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Andra publikationer Forskning

Henrik Frederiksen

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Nanotekniklaboratoriet

Andra publikationer Forskning

P. Debernardi

Consiglio Nazionale delle Ricerche

Anders Larsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Andra publikationer Forskning

Semiconductor Laser Conference (ISLC), 2010 22nd IEEE International

0899-9406 (ISSN)

Ämneskategorier

Telekommunikation

DOI

10.1109/ISLC.2010.5642636

Publikationsdata kopplat till DOI

ISBN

978-1-4244-5683-3

Feedback och support

Om du har frågor, behöver hjälp, hittar en bugg eller vill ge feedback kan du göra det här nedan. Du når oss också direkt per e-post research.lib@chalmers.se eller via telefon 031-772 3744.

Om tjänsten

Research.chalmers.se innehåller information om forskning på Chalmers, publikationer och projekt inklusive information om finansiärer och samarbetspartners.

Läs mer om tjänsten, täckningsgrad och vilka som kan se informationen

Länkar

Chalmers bibliotek
Chalmers forskning
Forskningsprojekt på chalmers.se

Chalmers tekniska högskola

412 96 GÖTEBORG
TELEFON: 031-772 10 00
WWW.CHALMERS.SE