Integrated Tunable VCSELs With Simple MEMS Technology
Paper i proceeding, 2010

A simple MEMS technology for wafer-scale fabrication of tunable VCSELs is presented. Reflown photo-resist droplets serve as preform for making curved movable micro-mirrors. First devices show a tuning range of 15 nm with mW-output power.

Författare

Benjamin Kögel

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Amin Abbaszadehbanaeiyan

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Petter Westbergh

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Åsa Haglund

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Johan Gustavsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Jörgen Bengtsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Erik Haglund

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Henrik Frederiksen

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Nanotekniklaboratoriet

P. Debernardi

Consiglo Nazionale Delle Richerche

Anders Larsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Semiconductor Laser Conference (ISLC), 2010 22nd IEEE International

0899-9406 (ISSN)

Ämneskategorier

Telekommunikation

DOI

10.1109/ISLC.2010.5642636

ISBN

978-1-4244-5683-3