Integrated Tunable VCSELs With Simple MEMS Technology
Paper i proceeding, 2010
A simple MEMS technology for wafer-scale fabrication of tunable VCSELs is presented. Reflown photo-resist droplets serve as preform for making curved movable micro-mirrors. First devices show a tuning range of 15 nm with mW-output power.
Författare
Benjamin Kögel
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik
Amin Abbaszadehbanaeiyan
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik
Petter Westbergh
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik
Åsa Haglund
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik
Johan Gustavsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik
Jörgen Bengtsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik
Erik Haglund
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik
Henrik Frederiksen
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Nanotekniklaboratoriet
P. Debernardi
Consiglo Nazionale Delle Richerche
Anders Larsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik
Semiconductor Laser Conference (ISLC), 2010 22nd IEEE International
0899-9406 (ISSN)
Ämneskategorier
Telekommunikation
DOI
10.1109/ISLC.2010.5642636
ISBN
978-1-4244-5683-3