Gate stacks
Kapitel i bok, 2013
AlN buffer layer
GdSiO/LaSiO
MOSFETs
Metal gate
Gate stacks
Författare
Olof Engström
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik
I. Z. Mitrovic
University of Liverpool
S. Hall
University of Liverpool
Bahman Raeissi
Tyndall National Institute at National University of Ireland, Cork
K. Cherkaoui
Tyndall National Institute at National University of Ireland, Cork
S Monaghan
Tyndall National Institute at National University of Ireland, Cork
H. D. B. Gottlob
Gesellschaft fur Angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH
M.C. Lemme
Harvard University
Nanoscale CMOS: Innovative Materials, Modeling and Characterization
23 - 67
Styrkeområden
Informations- och kommunikationsteknik
Nanovetenskap och nanoteknik
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik
DOI
10.1002/9781118621523.ch2