Gate stacks
Kapitel i bok, 2013

AlN buffer layer

GdSiO/LaSiO

MOSFETs

Metal gate

Gate stacks

Författare

Olof Engström

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik

I. Z. Mitrovic

University of Liverpool

S. Hall

University of Liverpool

Bahman Raeissi

Tyndall National Institute at National University of Ireland, Cork

K. Cherkaoui

Tyndall National Institute at National University of Ireland, Cork

S Monaghan

Tyndall National Institute at National University of Ireland, Cork

H. D. B. Gottlob

Gesellschaft fur Angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH

M.C. Lemme

Harvard University

Nanoscale CMOS: Innovative Materials, Modeling and Characterization

23 - 67

Styrkeområden

Informations- och kommunikationsteknik

Nanovetenskap och nanoteknik

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik

DOI

10.1002/9781118621523.ch2

Mer information

Senast uppdaterat

2022-02-09