Characterization of thin film resistors and capacitors integrated on GaAs membranes for submillimeter wave circuit applications
Paper i proceeding, 2011
S parameter
thin film capacitor
membrane
thin film resistor
Författare
Huan Zhao Ternehäll
Gigahertzcentrum
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik
Thi Ngoc Do Thanh
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik
Peter Sobis
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik
Gigahertzcentrum
Aik-Yean Tang
Gigahertzcentrum
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik
Klas Yhland
Gigahertzcentrum
Jörgen Stenarson
Gigahertzcentrum
Jan Stake
Gigahertzcentrum
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik
Conference Proceedings - International Conference on Indium Phosphide and Related Materials. 2011 Compound Semiconductor Week and 23rd International Conference on Indium Phosphide and Related Materials, CSW/IPRM 2011, Berlin, 22-26 May 2011
1092-8669 (ISSN)
1-4978-145771753-6 (ISBN)
Styrkeområden
Informations- och kommunikationsteknik
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik
Infrastruktur
Nanotekniklaboratoriet