Characterization of thin film resistors and capacitors integrated on GaAs membranes for submillimeter wave circuit applications
Paper i proceeding, 2011

In this paper we describe the fabrication and characterization of thin film resistors and capacitors integrated on a 3 μm thick GaAs membrane. The thin film resistors and capacitors are based on NiCr and SiN x materials respectively. Onwafer probing DC characterization of these thin film components was performed before removing the GaAs substrate. The corresponding high frequency characterization in the WR-03 frequency band (220-325 GHz) was demonstrated utilizing a membrane-based two-port TRL calibration technique. The measurement results have shown a good agreement with the simulation.

thin film resistor

thin film capacitor

S parameter

membrane

Författare

Huan Zhao Ternehäll

GigaHertz Centrum

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik

Forskning Andra publikationer

Thi Ngoc Do Thanh

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik

Forskning Andra publikationer

Peter Sobis

GigaHertz Centrum

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik

Forskning Andra publikationer

Aik-Yean Tang

GigaHertz Centrum

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik

Forskning Andra publikationer

Klas Yhland

GigaHertz Centrum

Forskning Andra publikationer

Jörgen Stenarson

GigaHertz Centrum

Forskning Andra publikationer

Jan Stake

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik

GigaHertz Centrum

Forskning Andra publikationer

Conference Proceedings - International Conference on Indium Phosphide and Related Materials. 2011 Compound Semiconductor Week and 23rd International Conference on Indium Phosphide and Related Materials, CSW/IPRM 2011, Berlin, 22-26 May 2011

1092-8669 (ISSN)

1-4

Styrkeområden

Informations- och kommunikationsteknik

Nanovetenskap och nanoteknik

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

Infrastruktur

Nanotekniklaboratoriet

ISBN

978-145771753-6

Feedback och support

Om du har frågor, behöver hjälp, hittar en bugg eller vill ge feedback kan du göra det här nedan. Du når oss också direkt per e-post research.lib@chalmers.se eller via telefon 031-772 3744.

Om tjänsten

Research.chalmers.se innehåller information om forskning på Chalmers, publikationer och projekt inklusive information om finansiärer och samarbetspartners.

Läs mer om tjänsten, täckningsgrad och vilka som kan se informationen

Länkar

Chalmers bibliotek
Chalmers forskning
Forskningsprojekt på chalmers.se

Chalmers tekniska högskola

412 96 GÖTEBORG
TELEFON: 031-772 10 00
WWW.CHALMERS.SE