Singlemode tunable VCSELs with integrated MEMS technology
Paper i proceeding, 2011

A simple MEMS technology for wafer-scale integration of short-wavelength tunable VCSELs is presented. Using a 3D model the half-symmetric cavity is optimized for singlemode emission from 10 μm large apertures over 12 nm tuning range.

VCSEL

tunable laser

MEMS

vertical-cavity surface-emitting laser

Microelectromechanical system

Författare

Benjamin Kögel

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

P. Debernardi

Petter Westbergh

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Åsa Haglund

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Johan Gustavsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Jörgen Bengtsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Erik Haglund

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Anders Larsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

European Conference on Laser and Electro-Optics (CLEO/Europe)

Styrkeområden

Informations- och kommunikationsteknik

Ämneskategorier

Telekommunikation

Atom- och molekylfysik och optik