Patterned Substrate Epitaxy
Kapitel i bok, 2012

In this chapter, we provide a brief overview of patterned substrate epitaxy (PSE) with intention to improve material quality of lattice mismatched thin films. We describe a short history, mechanisms of strain relaxation in diamond and zincblende heterostructures with small lattice mismatch when grown on large size blanket substrates and on patterned substrates, and implementation techniques.

Författare

Huan Zhao Ternehäll

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik

Shu Min Wang

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Lattice Engineering Technology and Applications

396-

Styrkeområden

Informations- och kommunikationsteknik

Nanovetenskap och nanoteknik

Materialvetenskap

Ämneskategorier

Materialteknik

Elektroteknik och elektronik

Nanoteknik

ISBN

978-981-4316-29-3

Mer information

Skapat

2017-10-07