Applications of aluminium nitride films deposited by reactive sputtering to silicon-on-insulator materials
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1996

Författare

Stefan Bengtsson

Mats Bergh

Manolis Choumas

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Christian Olesen

Kjell Jeppson

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Japanese Journal Of Applied Physics Part 1-Regular Papers Short Notes & Review Papers

Vol. 35 8 4175-4181

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2017-10-07