Low-Temperature Preparation Of Silicon Silicon Interfaces By The Silicon-To-Silicon Direct Bonding Method
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1990
Författare
Stefan Bengtsson
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Olof Engström
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Journal Of The Electrochemical Society
Vol. 137 7 2297-2303
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik