Electrical Methods For Characterizing Directly Bonded Silicon Silicon Interfaces
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1991
Författare
Stefan Bengtsson
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Olof Engström
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Japanese Journal Of Applied Physics Part 1-Regular Papers Short Notes & Review Papers
Vol. 30 2 356-361
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik