Ultraclean Si/Si interface formation by surface preparation and direct bonding in ultrahigh vacuum
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1998

Författare

Karin Hermansson

Francois Grey

Stefan Bengtsson

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Ulf Södervall

Institutionen för fysik

Journal Of The Electrochemical Society

Vol. 145 5 1645-1649

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik