Ultraclean Si/Si interface formation by surface preparation and direct bonding in ultrahigh vacuum
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1998
Författare
Karin Hermansson
Francois Grey
Stefan Bengtsson
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Ulf Södervall
Institutionen för fysik
Journal Of The Electrochemical Society
Vol. 145 5 1645-1649
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik