Status and Progress of Schottky Technology Development for SWI and ISMAR
Paper i proceeding, 2015

We present the progress of the technological development of a full e-beam based monolithically integrated Schottky diode process applicable for sub-millimetre wave multipliers and mixers. The process has been employed in a number of demonstrators showing state-of-the-art performance.

Författare

Vladimir Drakinskiy

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik

Huan Zhao Ternehäll

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik

Aleksandra Malko

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik

Tomas Bryllert

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik

Jan Stake

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik

26th International Symposium on Space Terahertz Technology, ISSTT 2015; Cambridge; United States; 16 March 2015 through 18 March 2015

P-6

Styrkeområden

Informations- och kommunikationsteknik

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

Infrastruktur

Nanotekniklaboratoriet