Status and Progress of Schottky Technology Development for SWI and ISMAR
Paper i proceeding, 2015
We present the progress of the technological development of a full e-beam based monolithically integrated Schottky diode process applicable for sub-millimetre wave multipliers and mixers. The process has been employed in a number of demonstrators showing state-of-the-art performance.
Författare
Vladimir Drakinskiy
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik
Peter Sobis
Huan Zhao Ternehäll
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik
Aleksandra Malko
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik
Tomas Bryllert
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik
Jan Stake
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik
26th International Symposium on Space Terahertz Technology, ISSTT 2015; Cambridge; United States; 16 March 2015 through 18 March 2015
P-6
Styrkeområden
Informations- och kommunikationsteknik
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik
Infrastruktur
Nanotekniklaboratoriet