Supporting structures for transmissive optical components in MEMS
Paper i proceeding, 2006
Författare
Karin Hedsten
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
David Karlén
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
17th MicroMechanics Europe (MME06) (Southampton, UK, Sept. 3-5, 2006)
69-72
0854328483 (ISBN)
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik
ISBN
0854328483