Supporting structures for transmissive optical components in MEMS
Paper i proceeding, 2006

Författare

Karin Hedsten

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

David Karlén

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

17th MicroMechanics Europe (MME06) (Southampton, UK, Sept. 3-5, 2006)

69-72

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

ISBN

0854328483