Refractive lenses in silicon micromachining by reflow of amorphous fluorocarbon polymer
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2006
Författare
Karin Hedsten
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
David Karlén
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Jörgen Bengtsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Jornal of Micromechanics and Microengineering
Vol. 16 6 S88-S95
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik