Refractive lenses in silicon micromachining by reflow of amorphous fluorocarbon polymer
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2006

Författare

Karin Hedsten

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

David Karlén

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Jörgen Bengtsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Jornal of Micromechanics and Microengineering

Vol. 16 S88-S95

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik