Fabrication and characterization of reactively sputtered TaN thin film resistors for millimeter wave applications
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2004
electrical resistivity
tantalum compounds
S-parameters
microstrip lines
MIMIC
thin film resistors
sputter deposition
Författare
Anders Mellberg
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Samuel P. Nicols
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
Niklas Rorsman
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Herbert Zirath
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Electrochemical and Solid State Letters
Vol. 7 11 G261-3
Ämneskategorier
Materialteknik
Elektroteknik och elektronik