Fabrication and characterization of reactively sputtered TaN thin film resistors for millimeter wave applications
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2004

electrical resistivity

tantalum compounds

S-parameters

microstrip lines

MIMIC

thin film resistors

sputter deposition

Författare

Anders Mellberg

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2)

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Samuel P. Nicols

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2)

Niklas Rorsman

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2)

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Herbert Zirath

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2)

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Electrochemical and Solid State Letters

Vol. 7 G261-3

Ämneskategorier

Materialteknik

Elektroteknik och elektronik