GaAs High-Contrast Gratings with InGaP Sacrificial Layer for Multi-Wavelength VCSEL Arrays
Paper i proceeding, 2016
We report on highly reflective suspended GaAs high-contrast gratings (HCGs) using an InGaP sacrificial layer. A high reflectivity approaching 100% was observed both in direct reflectivity measurement and by low threshold currents in fabricated multi-wavelength HCG-VCSEL arrays.
High-contrast grating (HCG)
InGaP
vertical-cavity surface-emitting laser (VCSEL)
sacrificial layer
Författare
Erik Haglund
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Johan Gustavsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
W. V. Sorin
Hewlett-Packard Company
Jörgen Bengtsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
David Fattal
LEIA Inc.
Åsa Haglund
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Anders Larsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Michael Tan
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Conference Digest - IEEE International Semiconductor Laser Conference
08999406 (ISSN)
Vol. TuD2 Article n0 7765746- 7765746978-4-8855-2306-9 (ISBN)
Styrkeområden
Informations- och kommunikationsteknik
Nanovetenskap och nanoteknik
Ämneskategorier
Telekommunikation
Fysik
Nanoteknik
Infrastruktur
Nanotekniklaboratoriet
ISBN
978-4-8855-2306-9