GaAs High-Contrast Gratings with InGaP Sacrificial Layer for Multi-Wavelength VCSEL Arrays
Paper i proceeding, 2016

We report on highly reflective suspended GaAs high-contrast gratings (HCGs) using an InGaP sacrificial layer. A high reflectivity approaching 100% was observed both in direct reflectivity measurement and by low threshold currents in fabricated multi-wavelength HCG-VCSEL arrays.

InGaP

High-contrast grating (HCG)

sacrificial layer

vertical-cavity surface-emitting laser (VCSEL)

Författare

Erik Haglund

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Johan Gustavsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

W. V. Sorin

Hewlett Packard Enterprise

Jörgen Bengtsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

David Fattal

LEIA Inc.

Åsa Haglund

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Anders Larsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Michael Tan

Chalmers University of Technology

Conference Digest - IEEE International Semiconductor Laser Conference

08999406 (ISSN)

Vol. TuD2 Article n0 7765746- 7765746

Styrkeområden

Informations- och kommunikationsteknik

Nanovetenskap och nanoteknik

Ämneskategorier

Telekommunikation

Fysik

Nanoteknik

Infrastruktur

Nanotekniklaboratoriet

ISBN

978-4-8855-2306-9