Formation of deep traps at the 4H-SiC/SiO2 interface when utilizing sodium enhanced oxidation
Paper i proceeding, 2007

Författare

Fredrik Allerstam

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik

Gudjon Gudjonsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik

Einar Sveinbjörnsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik

Thomas Rödle

Materials Science Forum

0255-5476 (ISSN)

Vol. 556-557 517-520

Ämneskategorier

Den kondenserade materiens fysik

Mer information

Skapat

2017-10-06