Formation of deep traps at the 4H-SiC/SiO2 interface when utilizing sodium enhanced oxidation
Paper i proceeding, 2007
Författare
Fredrik Allerstam
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik
Gudjon Gudjonsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik
Einar Sveinbjörnsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik
Thomas Rödle
Hendrikus Jos
Materials Science Forum
0255-5476 (ISSN)
Vol. 556-557 517-520Ämneskategorier
Den kondenserade materiens fysik