Formation of deep traps at the 4H-SiC/SiO2 interface when utilizing sodium enhanced oxidation
Paper i proceeding, 2007

Författare

Fredrik Allerstam

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Gudjon Gudjonsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Einar Sveinbjörnsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Thomas Rödle

Materials Science Forum

0255-5476 (ISSN)

Vol. 556-557 517-520

Ämneskategorier

Den kondenserade materiens fysik