(Cl2:Ar) ICP/RIE dry etching of Al(Ga)Sb for AlSb/InAs HEMTs
Paper i proceeding, 2007

Författare

Eric Lefebvre

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2)

Malin Borg

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2)

Mikael Malmkvist

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2)

Jan Grahn

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2)

Ludovic Desplanque

Xavier Wallart

Yannick Roelens

Gilles Dambrine

Alain Cappy

Sylvain Bollaert

Proc. 19th Indium Phosphide and Related Materials

pp. 125-128

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik