Interface defects in HfO2, LaSiOx and Gd2O3 high-k/metal gate structures on silicon: Energy distribution and passivation
Paper i proceeding, 2007
Författare
P.K. Hurley
K. Cherkaoui
E O'Connor
A.W. Groenland
M.C. Lemme
H.D.B. Gottlob
M Schmidt
S. Hall
Y. Lu
O. Buiu
Bahman Raeissi
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
Johan Piscator
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
Olof Engström
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
Proc. Electrochemical Society Meeting, Washington DC, October 2007
Ämneskategorier
Annan teknik