Refractive Lenses in Silicon Micromachining by Reflow of Amorphous Fluorocarbon Polymer
Paper i proceeding, 2005
Författare
Karin Hedsten
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
David Karlén
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Presented at Micromechanics Europe (MME05) (Göteborg, Sweden, Sept. 4-6, 2005)
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik