Microreplication in a silicon processing compatible polymer material
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2005

Författare

Jonas Melin

Karin Hedsten

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Anders Magnusson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

David Karlén

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Henrik Rödjegård

Katrin Persson

Jörgen Bengtsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Fredrik Nikolajeff

Jornal of Micromechanics and Microengineering

Vol. 15 7 116-121

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik