Microreplication in a Silicon Processing Compatible Material
Paper i proceeding, 2005

We present a novel fabrication process for the integration of polymer micro-optical elements on silicon. The process relies on a reverse order protocol based on embossing in an amorphous fluorocarbon polymer, Cytop™.

Författare

Jonas Melin

Uppsala universitet

Karin Hedsten

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Anders Magnusson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

David Karlén

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Henrik Rödjegård

Imego AB - The Institute of Micro and Nanotechnology

Katrin Persson

Imego AB - The Institute of Micro and Nanotechnology

Jörgen Bengtsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Fredrik Nikolajeff

Uppsala universitet

IEEE/LEOS Optical MEMS 2005: International Conference on Optical MEMS and Their Applications, Oulu, Finland, 1-4 August 2005

89-90

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

DOI

10.1109/OMEMS.2005.1540091

ISBN

978-078039278-6

Mer information

Senast uppdaterat

2018-03-28