Replicated diffractive optical element in silicon micromachining
Paper i proceeding, 2004

Författare

Karin Hedsten

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Anders Magnusson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Jonas Melin

Henrik Rödjegård

Gert Andersson

Jörgen Bengtsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Fredrik Nikolajeff

David Karlén

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Micromechanics Europe (MME04) (Leuven, Belgium, 2004)

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2017-10-06