Submillimeter Wave S-Parameter Characterization of Integrated Membrane Circuits
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2011

We demonstrate S-parameter characterization of membrane circuits in the WR-03 frequency band (220-325 GHz) utilizing thru-reflect-line (TRL) -calibration technique. The TRL calibration kit design features 3 μm thick GaAs membrane circuits packaged in E-plane split waveguide blocks with the reference planes inside the membrane circuit structure. A 300 GHz membrane ring resonator filter circuit has been characterized by applying the proposed calibration kit, showing good agreement with simulations.

Scattering parameter measurements

THz circuits

Membranes

Calibration.

Monolithic integrated circuits

Submillimete wave measurements

Författare

Huan Zhao Ternehäll

Gigahertzcentrum

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik

Aik-Yean Tang

Gigahertzcentrum

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik

Peter Sobis

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik

Gigahertzcentrum

Tomas Bryllert

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik

Jörgen Stenarson

Jan Stake

Gigahertzcentrum

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik

IEEE Microwave and Wireless Components Letters

1531-1309 (ISSN) 15581764 (eISSN)

Vol. 21 2 110-112 5711413

Styrkeområden

Informations- och kommunikationsteknik

Infrastruktur

Kollberglaboratoriet

Nanotekniklaboratoriet

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

Annan elektroteknik och elektronik

DOI

10.1109/LMWC.2010.2097244

Mer information

Senast uppdaterat

2023-12-29