Submillimeter Wave S-Parameter Characterization of Integrated Membrane Circuits
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2011
We demonstrate S-parameter characterization of membrane circuits in the WR-03 frequency band (220-325 GHz) utilizing thru-reflect-line (TRL) -calibration technique. The TRL calibration kit design features 3 μm thick GaAs membrane circuits packaged in E-plane split waveguide blocks with the reference planes inside the membrane circuit structure. A 300 GHz membrane ring resonator filter circuit has been characterized by applying the proposed calibration kit, showing good agreement with simulations.
Monolithic integrated circuits
Membranes
THz circuits
Calibration.
Scattering parameter measurements
Submillimete wave measurements
Författare
Huan Zhao Ternehäll
Gigahertzcentrum
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik
Aik-Yean Tang
Gigahertzcentrum
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik
Peter Sobis
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik
Gigahertzcentrum
Tomas Bryllert
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik
Klas Yhland
Jörgen Stenarson
Jan Stake
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik
Gigahertzcentrum
IEEE Microwave and Wireless Components Letters
1531-1309 (ISSN)
Vol. 21 2 110-112 5711413Styrkeområden
Informations- och kommunikationsteknik
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik
Infrastruktur
Nanotekniklaboratoriet
DOI
10.1109/LMWC.2010.2097244