Submillimeter Wave S-Parameter Characterization of Integrated Membrane Circuits
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2011

We demonstrate S-parameter characterization of membrane circuits in the WR-03 frequency band (220-325 GHz) utilizing thru-reflect-line (TRL) -calibration technique. The TRL calibration kit design features 3 μm thick GaAs membrane circuits packaged in E-plane split waveguide blocks with the reference planes inside the membrane circuit structure. A 300 GHz membrane ring resonator filter circuit has been characterized by applying the proposed calibration kit, showing good agreement with simulations.

Monolithic integrated circuits

Membranes

THz circuits

Calibration.

Scattering parameter measurements

Submillimete wave measurements

Författare

Huan Zhao Ternehäll

GigaHertz Centrum

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik

Aik-Yean Tang

GigaHertz Centrum

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik

Peter Sobis

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik

GigaHertz Centrum

Tomas Bryllert

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik

Jörgen Stenarson

Jan Stake

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik

GigaHertz Centrum

IEEE Microwave and Wireless Components Letters

1531-1309 (ISSN)

Vol. 21 110-112 5711413

Styrkeområden

Informations- och kommunikationsteknik

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

Infrastruktur

Nanotekniklaboratoriet

DOI

10.1109/LMWC.2010.2097244