Submillimeter Wave S-Parameter Characterization of Integrated Membrane Circuits
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2011
We demonstrate S-parameter characterization of membrane circuits in the WR-03 frequency band (220-325 GHz) utilizing thru-reflect-line (TRL) -calibration technique. The TRL calibration kit design features 3 μm thick GaAs membrane circuits packaged in E-plane split waveguide blocks with the reference planes inside the membrane circuit structure. A 300 GHz membrane ring resonator filter circuit has been characterized by applying the proposed calibration kit, showing good agreement with simulations.
Scattering parameter measurements
THz circuits
Membranes
Calibration.
Monolithic integrated circuits
Submillimete wave measurements
Författare
Huan Zhao Ternehäll
Gigahertzcentrum
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik
Aik-Yean Tang
Gigahertzcentrum
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik
Peter Sobis
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik
Gigahertzcentrum
Tomas Bryllert
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik
Klas Yhland
Jörgen Stenarson
Jan Stake
Gigahertzcentrum
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Terahertz- och millimetervågsteknik
IEEE Microwave and Wireless Components Letters
1531-1309 (ISSN) 15581764 (eISSN)
Vol. 21 2 110-112 5711413Styrkeområden
Informations- och kommunikationsteknik
Infrastruktur
Kollberglaboratoriet
Nanotekniklaboratoriet
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Elektroteknik och elektronik
Annan elektroteknik och elektronik
DOI
10.1109/LMWC.2010.2097244