Controlling the Density of CNTs by Different UnderlayerMaterials in PECVD Growth
Paper i proceeding, 2013
Författare
Liang Xu
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
Di Jiang
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
Yifeng Fu
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
Shantung Tu
Johan Liu
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
Proceedings of the 19th INTERNATIONAL WORKSHOP on Thermal Investigations of ICs and Systems, September 25-27 2013, Berlin, Germany, IEEE / Therminic 2013
248-252
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik
Ämneskategorier
Nanoteknik
DOI
10.1109/THERMINIC.2013.6675185