A strong reduction in the density of near-interface traps at the SiO2/4H-SiC interface by sodium enhanced oxidation
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2007
Författare
Fredrik Allerstam
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Halldor Olafsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Gudjon Gudjonsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Dimitar Milkov Dochev
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Einar Sveinbjörnsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Thomas Rödle
Hendrikus Jos
Journal of Applied Physics
0021-8979 (ISSN) 1089-7550 (eISSN)
Vol. 101 124502-Ämneskategorier
Den kondenserade materiens fysik