A strong reduction in the density of near-interface traps at the SiO2/4H-SiC interface by sodium enhanced oxidation
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2007

Författare

Fredrik Allerstam

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Halldor Olafsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Gudjon Gudjonsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Dimitar Milkov Dochev

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Einar Sveinbjörnsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Thomas Rödle

Journal of Applied Physics

0021-8979 (ISSN) 1089-7550 (eISSN)

Vol. 101 124502-

Ämneskategorier

Den kondenserade materiens fysik