Sodium Enhanced Oxidation of Si-face 4H-SiC: a Method to Remove Near Interface Traps
Paper i proceeding, 2007
Författare
Einar Sveinbjörnsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Fredrik Allerstam
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Halldor Olafsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Gudjon Gudjonsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Dimitar Milkov Dochev
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Thomas Rödle
Hendrikus Jos
Materials Science Forum
0255-5476 (ISSN) 16629752 (eISSN)
Vol. 556-557 487-4920878494421 (ISBN)
Ämneskategorier
Den kondenserade materiens fysik
DOI
10.4028/0-87849-442-1.487
ISBN
0878494421