Sodium Enhanced Oxidation of Si-face 4H-SiC: a Method to Remove Near Interface Traps
Paper i proceeding, 2007

Författare

Einar Sveinbjörnsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Fredrik Allerstam

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Halldor Olafsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Gudjon Gudjonsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Dimitar Milkov Dochev

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Thomas Rödle

Materials Science Forum

0255-5476 (ISSN)

Vol. 556-557 487-492

Ämneskategorier

Den kondenserade materiens fysik