Charging phenomena at the interface between high-k dielectrics and SiOx interlayers
Paper i proceeding, 2009

Författare

Olof Engström

Chalmers, Teknisk fysik, Fysikalisk elektronik

Bahman Raeissi

Chalmers, Teknisk fysik, Fysikalisk elektronik

Johan Piscator

Chalmers, Teknisk fysik, Fysikalisk elektronik

I. Z. Mitrovic

S. Hall

H. D. B. Gottlob

M. Schmidt

P.K. Hurley

K. Cherkaoui

8th Symposium Diagnostics & Yield Advanced Silicon Devices and Technologies for the ULSI Era, Warsaw, June 22 - 24, 2009 (Invited)

Ämneskategorier

Annan teknik

Övrig annan teknik