Mats Hagberg

Forskare vid Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Nanotekniklaboratoriet

Visar 8 publikationer

2012

Anisotropic vapor HF etching of silicon dioxide for Si microstructure release

V. Passi, Ulf Södervall, Bengt Nilsson et al
Microelectronic Engineering. Vol. 95, p. 83-89
Artikel i vetenskaplig tidskrift
2012

High-Throughput On-Chip Large Deformation of Silicon Nanoribbons and Nanowires

V. Passi, U. Bhaskar, T. Pardoen et al
Journal of Microelectromechanical Systems. Vol. 21 (4), p. 822-829
Artikel i vetenskaplig tidskrift
2011

Microscopic Si whiskers

S. Kalem, P. Werner, Mats Hagberg et al
Microelectronic Engineering. Vol. 88 (8), p. 2593-2596
Artikel i vetenskaplig tidskrift
2011

On-chip tensile testing of the mechanical and electro-mechanical properties of nano-scale silicon free-standing beams

U. Bhaskar, V. Passi, Ulf Södervall et al
Advanced Materials Research. Vol. 276, p. 117-126
Artikel i vetenskaplig tidskrift
2011

Note: Fast and reliable fracture strain extraction technique applied to silicon at nanometer scale

V. Passi, U. Bhaskar, T. Pardoen et al
Review of Scientific Instruments. Vol. 82 (11), p. art. no 116106-
Artikel i vetenskaplig tidskrift
2011

Controlled thinning and surface smoothening of silicon nanopillars

S. Kalem, P. Werner, Bengt Nilsson et al
Nanotechnology. Vol. 20 (44), p. 445303-
Artikel i vetenskaplig tidskrift
2011

Black silicon with high density and high aspect ratio nanowhiskers

S. Kalem, P. Werner, Örjan Arthursson et al
Nanotechnology. Vol. 22 (23)
Artikel i vetenskaplig tidskrift

Spara referenser

Om du har installerat Zotero eller Mendeley på din dator kan du direkt ta ut referenser från de publikationer du ser i listan.

Du laddar ner dessa pluginer här:
Zotero
Mendeley

Det finns inga projekt att visa.
Det kan finnas fler projekt där Mats Hagberg medverkar, men du måste vara inloggad som anställd på Chalmers för att kunna se dem.